스테퍼 문서 원본 보기

{{다른 뜻|스테퍼모터||모터의 일종}}
[[파일:Autostep_i-line_stepper.jpg|섬네일|[[수은등]] 스테퍼([[암등]] 밑에서 찍음)]]
'''스테퍼'''(stepper)는 [[슬라이드 영사기]]나 [[사진 확대기]]의 운용과 비슷한 방식의 [[집적 회로]] 제조에 사용되는 장치이다. 스테퍼라는 용어는 "step-and-repeat camera"의 줄인말이다. 스테퍼는 [[사진평판술]]이라는 복잡한 프로세스의 필수적인 부분으로, 실리콘 칩 표면에 수백만의 미세 회로 엘리먼트를 생성한다. 이 칩들은 컴퓨터 프로세서, 메모리 칩, 기타 수많은 장치들의 IC의 핵심부를 구성한다.

스테퍼는 1970년대 말에 공개되었지만 1980년대 말 이후 들어서야 보편화되기 시작했다. 그 이유는 더 오래된 기술을 대체하는 과정에 있었기 때문이었다.

== 같이 보기 ==
* [[스테핑]]
* [[반도체]]
* [[집적 회로]]
; 스테퍼 제조사
* [[ASML]]
* [[니콘]]
* [[캐논]]
* [[인텔]]

{{위키데이터 속성 추적}}

[[분류:리소그래피]]
[[분류:반도체]]