초순수 문서 원본 보기

'''초순수'''(Ultrapure water, UPW), '''고순도수'''(high-purity water) 또는 '''고도로 정제된 물'''(highly purified water, HPW)은 매우 엄격한 사양에 따라 정제된 [[물]]이다. 초순수는 [[유기 화합물|유기]] 및 [[무기 화합물]](용해된 입자상 물질, 휘발성 및 비휘발성, 반응성 및 불활성, [[친수성]] 및 [[소수성]], 용해된 기체)을 포함한 모든 오염 물질 유형에 대해 물이 최고 수준의 순도로 처리된다는 사실을 강조하기 위해 제조에서 일반적으로 사용되는 용어이다.

초순수와 일반적으로 사용되는 용어인 [[정제수|탈이온수]](DI)는 동일하지 않다. UPW는 유기 입자와 용존 가스를 제거한다는 점 외에도 일반적인 UPW 시스템은 [[정제수]]를 생산하는 전처리 단계, 물을 추가로 정화하는 1차 단계, 가장 비용이 많이 드는 연마 단계의 3단계로 처리 과정이 구성된다.

많은 조직과 그룹이 UPW 생산과 관련된 표준을 개발하고 게시한다. 마이크로 전자공학 및 전력 분야에는 국제 반도체 장비 재료(SEMI)(마이크로 전자 공학 및 광전지), 미국 재료 시험 협회([[ASTM 인터내셔널]])(반도체, 전력), 전력 연구소(EPRI)(전력), 미국 기계공학회(ASME)(전력) 및 국제 물 및 증기 특성 협회(IAPWS)(전력). 제약 공장은 약전에서 개발한 수질 기준을 따르며, 그 중 세 가지 예로는 [[미국 약전]], [[유럽 약전]], [[일본 약전]]이 있다.

UPW 품질에 대해 가장 널리 사용되는 요구 사항은 ASTM D5127 "전자 및 반도체 산업에 사용되는 초순수에 대한 표준 가이드"<ref name="ASTM D5127">[http://www.astm.org/Standards/D5127.htm ASTM D5127] Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries</ref> 및 SEMI F63 "반도체 공정에 사용되는 초순수에 대한 가이드"에 문서화되어 있다.<ref name="SEMI F63">[http://ams.semi.org/ebusiness/standards/SEMIStandardDetail.aspx?ProductID=211&DownloadID=2950 SEMI F63] {{웹아카이브|url=https://web.archive.org/web/20141019123726/http://ams.semi.org/ebusiness/standards/SEMIStandardDetail.aspx?ProductID=211&DownloadID=2950}} Guide for Ultrapure Water Used in Semiconductor Processing</ref>

초순수는 영국 [[개량 가스냉각로|AGR]] 차량의 보일러 급수로도 사용된다.

== 각주 ==
<references />

{{위키데이터 속성 추적}}

[[분류:물]]
[[분류:물 처리]]